半导体设备零件

真空腔体与结构件：沉积腔体、机台框架、底座、法兰等。
气体与流体管理系统：体分配器、阀体、喷淋头、管路连接件等。
散热与温控模组：冷却板、热交换器等。
精密运动与传动部件：晶圆搬运手臂、机械手末端执行器、线性滑台等。
晶圆夹具与基座：晶圆吸盘、承载环、定位器等
电气绝缘与结构件：绝缘套、连接器、设备外壳、观察窗等。
耐腐蚀流体部件：湿法刻蚀设备的槽体内衬、密封件、泵阀部件等。
高耐磨传动部件：齿轮、导轨、滑块、轴承等。

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